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技術(shù)參數(shù)
| 主要特點(diǎn) | 通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。 |
| 時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。 | |
| 設(shè)有一個三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體。 | |
| 選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。 | |
| 參數(shù) | 電源：AC220V 50/60Hz |
| 輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W | |
| 真空泵功率：<500W | |
| 總功率：<600W | |
| 射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) | |
| 等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗 | |
| 真空泵：24L/min,直連式雙旋真空泵 | |
| 極限真空度：50mtorr | |
| 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm |
| 重量：10.2kg | |
| 可選配件 | 2″-6″石英舟（盛放基片） |
| 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù) |
